CVD

スクリーンの割れの発生を最少化し、耐久性を向上
特殊被膜コーティング製品の品質を向上させた常圧CVD装置

半導体の材料であるＳｉウェハー表面の特殊被膜のコーティングには、一般的に常圧連続ＣＶＤ装置が使用されており、この装置の内部にはステンレス製のスクリーンが設置されています。従来型のスクリーンは、エッチング方式で成型したベントシールドやＮ２シールドで製作されていたため、板厚が薄くなり、使用時の加熱・冷却の繰り返しによる熱応力で頻繁に割れが発生していました。

これを電子ビーム穴あけ加工した微細穴スクリーンに変更したことで、同じ穴径でも板厚を厚くすることが可能になり割れが発生しにくくなりました。長期間の使用が可能な常圧CVD装置となったことで、特殊被膜コーティング製品の品質を飛躍的に向上させました。

※本製品の製造（成形）は終了しております。