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エア搬送

用途: エア搬送(セラミックス製造)

適応装置: フローティングシュート

材質: SUS304

空気圧による非接触搬送の推進力が向上
斜め穴加工を施したフローティングシュート

不純物による汚染を極力嫌うセラミックス製品やウェハーなどの製品を搬送する際、非接触輸送方式が採用されています。下側からエアーを送り空気圧で垂直方向に浮力を与え、サイドからの空気圧で水平方向の推進力を加えて製品を搬送する仕組みで、一般的には装置の底板に金属粉末の焼結板が用いられます。

電子ビーム穴あけ加工で斜め穴が可能となったことにより、垂直方向の浮力と水平方向の推進力とを同時に出すことができるようになりました。非接触輸送の効率向上を実現したフローティングシュートです。